Made to order

オーダーメイド実績

業種:半導体製造メーカー

特殊マスク3枚用キャリアのご相談

相談内容

半導体製造工程で使われるフォトマスク(石英)の洗浄用キャリアのご相談を頂きました。

課題解決

マスクが四角の形状である為に成型で販売されているキャリアでは、対応が出来ない為に特殊なキャリアを求められました。 3枚用でそれなりの重量もある為、重量をある程度考慮して荷重計算を行い、材質の強度も含め厚み等を決めています。 今回は、ハンドルまで一体物でマスクが挿入されたときに傾斜がつく様に設計を行いご提案しました。 材料は、PTFEで両側はNC加工・差し込み部分の丸棒は旋盤で溝加工を行い組立て完成です。