Made to order

オーダーメイド実績

業種:半導体製造メーカー

特殊マスク用キャリアのご相談

相談内容

半導体回路の製造プロセスの工程で、原版(フォトマスク)を石英・ガラス等を作られています。 中には丸形ではなく四角の形状の事があり、成型で販売されているキャリアでは、対応が出来ない為に特殊なハンドキャリアを求められます。

課題解決

一枚にそれなりの重量もある為、複数枚での仕様の時は重量をある程度考慮して荷重計算を行い、材質の強度も含め厚み等を決めています。 また、液だれが出来る限り発生しないようにマスクを入れた時に傾斜がつく様に設計提案いたしました。 市販のウェハー用キャリアハンドルも使用できるように溝をつけています。 材料は、PTFEで両側はNC加工・差し込み部分の丸棒は旋盤で溝加工を行い組立て完成です。